2026五月重磅招标%2026年上海芯源创新中心背面化学机械抛光机采购项目-招标公告招标公告招标公告

2026五月重磅招标%2026年上海芯源创新中心背面化学机械抛光机采购项目-招标公告招标公告招标公告

一、招标条件

本上海芯源创新中心背面化学机械抛光机采购项目(招标项目编号：TC2607099),招标人为上海芯源创新中心。本项目己具备招标条件，现进行公开招标。

二、项目概况和招标范围

1.项目概况：上海芯源创新中心背面化学机械抛光机采购项目，用于对背面减薄、研磨工艺完成后的抛光工艺，实现样品表面粗糙度的降低，是极具代表性的化合物半导体器件通用性支撑设备。该设备可实现对SiC化合物半导体材料的抛光工艺，可通过背面化学机械抛光机的head压力控制，Pad转速Slurry流速搭配终点检测技术，实现减薄研磨后晶圆的平坦化工艺，进一步提升化合物半导体器件的散热性能、降低减薄后样品残余应力、稳定性和良率。

2.招标内容与范围：本招标项目划分为标段1个标段，本次招标为其中的：

序号设备名称单位数量交货期交货地点质量保证期1背面化学机械不晚于上海市浦东抛光机台12026年10新区(用户指验收合格后月15日定地点)2年

详细的技术标准和要求见招标文件第五章《技术标准和要求》。

三、投标人资格要求

1.投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织，须提供有效的营业执照或法人证书；

2.投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件；

3.本项目对于境内产品只接受产品制造商投标。

4.本项目不接受联合体投标。

5.投标人如中标，须按照招标文件和中标人的投标文件订立书面合同，不得增加其他不合理条款或对招标人的额外要求。

6.投标人近一年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取

中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉，境内投标人需提供近3年经中介机构(有资质的会计师事务所)审计过的财务报表；

7.业绩要求：投标人须提供2023年1月1日至今(以合同签订时间为准)同品牌同类型的原厂设备在市场销售量≥【5】台的销售业绩，并注明设备销售时间、对应客户名称(客户名称可以使用代码替代描述)、订单台数。投标阶段须提供采购订单或采购合同或用户验收证明等材料，包含关键信息页。注：该业绩数字不可包含Demo和PO末发货设备。在提供的材料中，需附上"以上信息真实可靠，如与实际不符，愿承担法律责任“的相关承诺，并需要授权代表签字及加盖投标人公司公章，在必要时招标人保留查验销售业绩证明材料原件的权利。(除上述证明材料外，投标人须按招标文件格式提供业绩真实性的承诺函。)。

8.投标人应提供企业基本情况表，内容根据实际情况可包括详细单位性质、注册信息、营业范围、行业相关资质证书(提供复印件)、近3年经中介机构(有资质的会计师事务所)审计过的财务报表，及其他可以证明企业可以支撑本次应选行为的其他证明材料。要求加盖单位公章，确保信息真实准确。

9.若投标人中标，需承诺与本项目相关的款项实行专项核算，确保专款专用。若因该款项的使用违反国家的法律法规等，导致在未来任何形式的项目验收、项目审计等被要求退款、罚款或承担其他经济责任的，该等后果均由投标人/应选人独立承担，上海芯源创新中心有权向其追偿因此遭受的全部损失。投标人需提供相关承诺函，并加盖单位公章。

四、招标文件的获取

1.获取时间：2026年5月11日17:00起至2026年5月18日17:00。

2.招标文件售价：500元人民币，售后不退。

五、投标文件递交截止时间：2026年6月5日9:30。

注：报名前联系代理人获取投标报名表邮件发送(公司名称+联系人电话+参加项目名称)

联系人：马振13581595570

邮箱：gxztb8888@163.com